这样的“争执”在这对“兄弟”搭档的工作中还有很多很多，虽然他们会为一件件“小事”争论不休，但也会立足大局为共同的目标反复推敲；他们会为工作中每一次进步庆祝和相互鼓励，也会在日常工作的“事上磨练”中共同进步成长。

王军强和熊恒是工作中的好搭档，生活中的好“兄弟”，两人个性鲜明，和而不同。他们时常为了工作争得面红耳赤，但最终还是会统一目标达成一致。2021年，关键设备RIE反应离子刻蚀机工艺腔气压控制出现不稳定的偶发故障。故障定位过程中，作为高级技师的王军强主张从硬件着手，系统性排查真空计、气压控制阀、管路密封性，“一劳永逸”地解决这台已运行13年设备的真空系统维修维护。然而该方案耗时较长，面对不能等的生产交付节点，作为副总工艺师的熊恒从保交付角度考虑，坚持从简入繁，先排查易于维修的疑似故障点，如果故障简单就迅速维修恢复生产。怎么抉择？这对老搭档“剑拔弩张”，一直不能分个高下。时间不等人，达成共识，尽快恢复生产为第一位！先易后难，一起先排查易维修的真空计和连接触点可靠性，再采取系统性排故方案。最终，他们同心合力，发现真空计不稳定是连接触点老化引起的，迅速解决问题恢复生产。

他们和而不同

中国航空报讯：航空工业自控所有这样一条工艺线：它是集团公司唯一的MEMS工艺生产线，支撑6型航空领域核心传感器从研制到生产全过程。这条工艺线上有这样一个团队，坚守MEMS制造技术二十余年，拥有多项核心技术；团队中有一对如同兄弟的搭档：一起工作22年，为MEMS产线发展打下坚实基础，贡献了“1+1远大于2”的力量，这对“兄弟”搭档的名字叫王军强和熊恒。

他们相得益彰

王军强性格外向，善于沟通协调，熊恒不善言辞，喜欢钻研技术。20年间，这对搭档和MEMS工艺技术团队一起，共同保障这条有多台“独子设备”的工艺线始终平稳运转，并逐步发展为月产200片晶圆的4英寸MEMS工艺线，承担6型MEMS传感器产品的生产任务。随着自控所的发展，微系统专业迎来了新的机遇和使命，2023年将建设一条6英寸半自动生产线，现有平均役龄已超10年的多台关键设备并入产线，实现2025年产能扩展到现在的5～8倍。为了新MEMS产线升级和建设工作，这对搭档认真调研对比论证国内外MEMS芯片产线现状和能力，输出一张张规划表，与团队一轮轮讨论，生怕在专业发展的机遇期产生毫厘差错。他们相得益彰，迅速精准：总能第一时间完成产线规划需要的大量数据和分析报告；他们笃定前行、通力合作：面对问题与困难一以贯之，时刻展现团队的凝聚力和执行力。

MEMS生产线建设初期，王军强负责湿法刻蚀设备调研、配置、调试，熊恒作为2000年入所的新员工拜王军强为师，跟着他一起摸索湿法刻蚀工艺参数，自此开始师徒搭档。2005年，他们一起日夜奋战在超净厂房刻蚀台前，将基于3英寸单晶硅片在刻蚀装置上积累的工艺经验成功应用到半自动湿法刻蚀设备上，实现了刻蚀溶液在线循环加热。刻蚀间内，时常伫立着他们的身影，将刻蚀液搅拌加热，反复试验溶液温度、浓度场的分布均匀性，仔细观察溶液的流向和速率。一年的辛苦试验后，他们终于找到最优方案，攻克了容积增加和溶液循环引发的温度、浓度场不均匀问题，将湿法刻蚀能力从3英寸升级到4英寸，单槽刻蚀能力从1片升级到5片，单晶硅刻蚀300微米深，均匀性优于1.5微米，生产效率提升5倍以上。自此MEMS产线湿法刻蚀精度达到国际领先水平，为团队继续深耕晶圆键合、干法体硅技术奠定了坚实的专业基础。

他们并肩作战